申請公布號：CN121045979A
申請人：太倉迪科力科技有限公司
摘要：本申請涉及膠粘材料技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種半導(dǎo)體制程用高潔凈度揭膜膠帶及其制備工藝。一種半導(dǎo)體制程用高潔凈度揭膜膠帶包括PET膜層、離型層和膠粘層；離型層原料包括：含氟聚醚‑有機(jī)硅接枝共聚物、納米二氧化鈦和全氟丁基磺酸鉀；膠粘層原料包括：丙烯酸酯40‑60份、聚氨酯30‑50份、甲苯10‑20份、二異氰酸酯5‑8份、過氧化二苯甲酰3‑5份、橡膠微粒10‑20份、季銨鹽改性蒙脫土5‑9份、聚肉桂酸乙烯酯10‑20份、光引發(fā)劑1‑3份和聚乙烯醇縮丁醛3‑8份。本申請的高潔凈度揭膜膠通過設(shè)置離型層和特殊組分的膠粘層，使得膠帶同時具備高粘性、易解卷和無殘膠、高潔凈度的優(yōu)點(diǎn)。
3、本申請的膠粘層中加入的聚乙烯醇縮丁醛(PVB)，在接觸剝離時，因溫度變化使自身粘性下降、形成潤滑膜，減少與被粘物體的摩擦力，使膠粘劑更容易從被粘物體表面脫離，實(shí)現(xiàn)接觸剝離無殘膠、高潔凈度的效果。
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